微细加工技术

微细加工技术

图书基本信息
出版时间:2004-1
出版社:化学工业出版社
作者:刘明
页数:177
书名:微细加工技术
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微细加工技术

内容概要
  《微细加工技术》是《现代加工技术丛书》之一。《微细加工技术》从微细加工技术的基础知识讲起,较为详细地介绍了光学曝光技术、光学分辨率增强技术、电子束光刻技术、X射线光刻技术、极端远紫外光刻技术、刻蚀技术以及其他纳米加工技术。《微细加工技术》较为全面地反映了我国微细加工技术的现状,并在此基础上介绍了国际微细加工的先进技术及其发展趋势,是从事微细加工技术的科研人员、本科生、研究生以及对微电子感兴趣的人员的参考书。



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